|
题名:
|
日中中日半导体制造技术用语词典 ri zhong zhong ri ban dao ti zhi zao ji shu yong yu ci dian / 林少霖编 , |
|
ISBN:
|
978-7-81118-773-1 价格： CNY68.00 |
|
语种:
|
chi |
|
载体形态:
|
382页 19cm |
|
出版发行:
|
出版地： 上海 出版社： 上海大学出版社 出版日期： [2011] |
|
内容提要:
|
本书主要收集了有关半导体制造技术方面的基本专业词汇，包括半导体设计、材料、光刻刻蚀、扩散和离子注入、掺杂、晶体生长、芯片热处理、印刷、光学、机械等工艺及外观检验、性能检验等。 |
|
主题词:
|
半导体工艺 日语 |
|
主题词:
|
半导体工艺 |
|
中图分类法:
|
TN305-61 版次： 5 |
|
主要责任者:
|
林少霖 lin shao lin 编 |