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题名:
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金属有机物气相外延 Jin Shu You Ji Wu Qi Xiang Wai Yan / (美)杰拉尔德·B. 斯特林费洛(Gerald B. Stringfellow) , 张国义，陈志忠译 |
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ISBN:
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978-7-301-27517-7 价格： CNY91.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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512页 23cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 北京大学出版社 出版日期： 2016 |
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内容提要:
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本书是金属有机物气相外延(OMVPE或MOCVD)基础理论和应用实践方面的专著，第一章首先总揽了OMVPE的生长过程，并和其他的外延工艺做细致的比较。第二到第六章则分别论述了OMVPE生长的各个方面：热力学、表面物理过程、反应源、动力学以及流体力学和质量输运。第七章讨论了OMVPE生长过程的设计，包括动力学限制及高温区的生长，同时也对整体的OMVPE过程进行设计。第八章则介绍了如GaAs，InP，GaN等特定的材料。第九章介绍了超晶格结构。第十章则对OMVPE生长的器件进行了论述。 |
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主题词:
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有机金属化合物 气相外延生长 |
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中图分类法:
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O627 版次： 5 |
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主要责任者:
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杰拉尔德·B. 斯特林费洛Gerald B. Stringfellow Jie La Er De ·B.Si Te Lin Fei Luo GeraldB.Stringfellow |
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次要责任者:
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张国义 |
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次要责任者:
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陈志忠译 |
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索书号:
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1 |