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题名:
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精密纳米计量学 jing mi na mi ji liang xue / (日)Wei Gao著 , 李雷等译 |
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ISBN:
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978-7-118-12466-8 价格： CNY98.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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11,243页 图，照片 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 国防工业出版社 出版日期： 2022 |
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内容提要:
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本书介绍了精密纳米计量学的相关知识，重点讲述了精密纳米制造中测量角度和位移的光学传感器，提出了改善传感器灵敏度和带宽，减小传感器尺寸的技术，并开发了新的多轴传感方法；同时，介绍了精密纳米计量中用于表面形状和平台运动的扫描型测量系统，阐述了纳米制造中最基本的几何形状的测量误差分离算法和系统；最后对微观非球面的测量，纳米制造中微纳结构的精密纳米计量，以及长结构的微观尺寸的快速、准确测量等进行了介绍。 |
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主题词:
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纳米技术 应用 |
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中图分类法:
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TB383 版次： 5 |
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中图分类法:
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P2 版次： 5 |
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主要责任者:
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高伟 gao wei 著 |
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次要责任者:
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李雷 li lei 译 |
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附注:
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装备科技译著出版基金 Springer |